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成分：按客户要求定制
规格：圆形或方形平面靶，管靶，尺寸按客户要求定制
制备工艺
采用真空熔炼、轧制、机加工等工艺流程，用超声波清洗机进行清洗，最后真空包装。
晶粒度：根据客户要求进行晶粒尺寸和晶粒取向的控制.
备注：
1. 金属杂质元素用 GDMS 分析
2. 气体元素用 LECO 分析
3. 主元素用 ICP 方法分析
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